ZEP520A電子束光刻膠AR-P6200系列光刻膠可替代zep520

1、對(duì)于常用的電子束光刻膠ZEP520，發(fā)現(xiàn)其間距分辨率限制為60納米30納米線與空隙，獨(dú)立于厚度和束能使用3納米100千電子；電子束光刻膠很敏感，曝光后可以用某些顯影劑顯影與曝光區(qū)域 ZEP是日本Zeon公司在聚氯...

閱讀全文 謝雅懿 6 次瀏覽 2025-08-17 數(shù)碼