高純石墨制品的化學(xué)純化，是基于金屬鹵素化合物，都是低沸點(diǎn)化合物這一事實(shí)。如四氯化硅在56.8度沸騰，二氯化鐵在319度沸騰，而氟利昂-12等鹵素及其化合物，又能滲透進(jìn)石墨制品與石墨中的雜質(zhì)反應(yīng)，生成金屬鹵素化合物，揮發(fā)出來，使石墨制品中雜質(zhì)含量下降。這一技術(shù)早為人知，用于生產(chǎn)分析用光譜純級(jí)石墨電極，但光譜純級(jí)石墨電極直徑很小，一般在10mm以下。如需大規(guī)格高純石墨，需要在工業(yè)規(guī)模的設(shè)備中進(jìn)行。

　　通常的純化氣體為氯氣和氟利昂。當(dāng)石墨化溫度達(dá)到1000度以上時(shí)，即可通入氯氣，在2000度時(shí)再換通氟利昂氣體。工業(yè)上為降低費(fèi)用，改在1800度時(shí)，先通氮?dú)猓懦隣t芯的揮發(fā)氣體，到1950度時(shí)通入氯氣，在350度時(shí)再通入氟利昂氣體，為防止含雜質(zhì)的氣體反滲回石墨，停電冷卻時(shí)，還要保持通氣數(shù)小時(shí)，最后再同入氮?dú)猓耘懦珰饪字械臍堄鄽怏w。

　　生產(chǎn)高純石墨制品，每噸耗電8000-9000度耗用液氨40-60公斤，氟利昂15-30公斤，氮?dú)?0-30公斤。

　　高純石墨的灰分的含量遠(yuǎn)低于100pm